低溫等離子體技術是一個集物理學、化學、生物學和環境科學于一體的交叉綜合性技術，是目前國內外大氣污染治理中最富有前景最行之有效的技術方法之一，該技術顯著特點是對污染物兼具物理作用、化學作用和生物作用。 其中淨化作用機理包含兩個方面︰一是在產生等離子體的過程中，高頻放電所產生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學分子鍵，使之分解為單質原子或無害分子；二是等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子踫撞結合，在電場作用下，廢氣分子處于激發態，當廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成的無害氣體分子，同時產生的大量
